Faċilità ta 'fabbrikazzjoni ta' semikondutturi meħtieġa biex tissostitwixxi heater ta 'immersjoni PTFE fallut f'għodda kompatta tal-bank imxarrab. L-ispazju disponibbli kien slot wiesa '150 mm tul il-ħajt tat-tank, 400 mm fond, b'ftuħ ta' ħanek ta '100 mm. Il-wattage meħtieġ kien 2.5 kW. Il-ħiters tal-katalgu standard kienu jew wesgħin wisq, twal wisq, jew għoljin wisq fid-densità tal-watt għall-ispazju. Il-faċilità kellha bżonn heater tad-dwana li jaqbel mal-islott u operat b'densità ta 'watt sigur.
L-ispeċifikazzjoni ta' heater ta' immersjoni PTFE għal għodda semikondutturi ta' spazju-limitat teħtieġ approċċ differenti mill-ispeċifikazzjoni għal tank tal-kisi kbir. Ir-restrizzjonijiet tal-ispazju huma aktar stretti, il-kimika ħafna drabi hija aktar aggressiva, u r-rekwiżiti tal-uniformità tat-temperatura huma aktar impenjattivi. L-ispeċifikazzjoni għandha tibbilanċja d-densità tal-watt, l-erja tal-wiċċ, u l-adegwatezza fiżika f'pakkett żgħir ħafna.
L-Analiżi tar-Restrizzjoni tal-Ispazju
L-ewwel pass huwa li tfassal b'mod preċiż l-ispazju disponibbli. F'għodda semikondutturi, l-ispazju tal-heater ħafna drabi huwa definit mill-ħajt tat-tank fuq naħa waħda, il-mogħdija tat-trasportatur tal-wejfer fuq oħra, u l-qiegħ tat-tank hawn taħt. Il-volum disponibbli jista 'jkun forma irregolari li heater standard ma jistax jimla.
Id-dimensjonijiet ewlenin huma l-wisa 'massimu, il-fond massimu, l-għoli massimu, u l-ispazju għall-partijiet li jiċċaqalqu. Il-ftuħ tal-flanġ jiddefinixxi d-dijametru massimu tal-heater li jista 'jiddaħħal. Il-fond tal-immersjoni jiddefinixxi t-tul imsaħħan li jista 'jintuża.
| Dimensjoni | Limitazzjoni Tipika | Impatt fuq id-Disinn tal-Heater |
|---|---|---|
| Wisa 'disponibbli | 100–200 mm | Illimita l-wisa' tal-heater |
| Fond disponibbli | 300–500 mm | Limita t-tul imsaħħan |
| Ftuħ tal-flanġ | 80–150 mm | Limita l-inserzjoni tal-heater |
| Fond tal-immersjoni | 200–400 mm | Limita t-tul imsaħħan |
| Clearance lit-trasportatur | 50–100 mm | Limita l-isporġenza |
Limitazzjonijiet tal-ispazju f'għodod tal-bank imxarrab tas-semikondutturi
Kalkolu tad-Densità tal-Watt u tal-Erja tal-Watt
Dazju ta' 2.5 kW b'densità ta' watt sikur ta' 1.0 W/cm² jeħtieġ 2,500 ċm² ta' erja tal-wiċċ tal-għant. F'għodda ta' spazju-limitat, il-kisba ta' dik l-erja tal-wiċċ teħtieġ konfigurazzjoni kompatta b'ħafna-pass.
F'dijametru ta' għant ta' 50 mm, 2,500 cm² jeħtieġ 1,592 mm ta' tul imsaħħan. F'tank fond ta '400 mm bi 300 mm ta' immersjoni użabbli, li jissarraf f'sitt passaġġi ta '265 mm kull wieħed. Il--multipass bundle jidħol f'footprint ta' madwar 300 × 250 mm.
| Dijametru tal-għant | Erja tal-wiċċ għal kull 100 mm | Tul imsaħħan għal 2,500 ċm² | Jgħaddi fi 300 mm | Footprint |
|---|---|---|---|---|
| 32 mm | 100 ċm² | 2,500 mm | 9 | 300 × 250 mm |
| 40 mm | 126 ċm² | 1,984 mm | 7 | 300 × 220 mm |
| 50 mm | 157 ċm² | 1,592 mm | 6 | 300 × 200 mm |
| 63 mm | 198 ċm² | 1,263 ċm² | 5 | 300 × 180 mm |
Konfigurazzjonijiet multi-pass għal dazju ta' 2.5 kW f'1.0 W/cm²
It-twaħħil tal-Multi-Pass Bundle fis-Slot
Il-gozz multi-pass għandu jidħol mill-ftuħ tal-flanġ u fl-islott disponibbli. Mazz b'wisa' ta' 200 mm ma jidħolx minn fetħa tal-flanġ ta' 100 mm. Is-soluzzjoni hija li torjenta l-passes vertikalment sabiex il-qatta tkun dejqa f'direzzjoni waħda u wiesgħa fl-oħra, u li daħħalha permezz tal-ħanek fl-orjentazzjoni dejqa.
Mazz b'sitt passaġġi ta' dijametru ta' 50 mm spazjati 30 mm 'il bogħod minn xulxin għandu wisa' ta' bejn wieħed u ieħor 6 × 50 + 5 × 30=450 mm f'direzzjoni waħda u 50 mm fl-oħra. Jekk il-ftuħ tal-flanġ huwa 100 mm, il-qatta tista 'tiddaħħal bid-dimensjoni ta' 50 mm allinjata mal-ftuħ, imbagħad imdawwar fil-pożizzjoni.
| Konfigurazzjoni tal-pakkett | Wisa' (Passa) | Fond (Djametru tal-Pass) | Jwaħħal 100 mm Flanġ | Jgħodd 150 mm Slot |
|---|---|---|---|---|
| 4 passes, 50 mm, spazjar ta '30 mm | 290 mm | 50 mm | Iva (mdawra) | Iva |
| 5 passes, 50 mm, spazjar ta '30 mm | 370 mm | 50 mm | Iva (mdawra) | Iva |
| 6 passes, 50 mm, spazjar ta '30 mm | 450 mm | 50 mm | Iva (mdawra) | Marġinali |
| 6 passes, 40 mm, spazjar ta '25 mm | 365 mm | 40 mm | Iva (mdawra) | Iva |
Il-konfigurazzjonijiet tal-gozz u jaqilgħu permezz tal-fetħiet tal-flanġ
Uniformità tal-fluss u tat-temperatura fi Spazji stretti
F'għodda ta' spazju-limitat, il-fluss madwar il-heater ħafna drabi jkun ristrett mill-ħajt tat-tank fil-qrib u l-ġarrier tal-wejfer. Il-fluss jista 'jkun irregolari, b'veloċità għolja fuq naħa waħda u veloċità baxxa fuq l-oħra. Dan jista' joħloq hot spots fuq in-naħa ta'-veloċità baxxa.
Baffle imtaqqab jew gwida tal-fluss jistgħu jqassmu l-fluss b'mod aktar uniformi madwar il-gozz. Il-baffle għandu jkun iddisinjat biex jidħol fl-ispazju disponibbli u biex jidderieġi l-fluss mill-lakuni bejn il-passaġġi. Eductor żgħir jista 'jintuża wkoll biex isaħħaħ il-veloċità lokali.
Materjal u Kostruzzjoni għal Servizz Semikondutturi
Għodod semikondutturi ħafna drabi jeħtieġu materjali ta'-purità għolja. L-għant PTFE għandu jkun polimeru verġni, mhux mimli b'estratti baxxi. Il-ħanek għandu jkun PTFE solidu jew PTFE-istainless steel miksi. L-egħluq tat-terminal għandu jkun issiġillat u ventilat biex jipprevjeni l-kontaminazzjoni.
Il-heater għandu jitnaddaf u passivated qabel l-installazzjoni. Kwalunkwe żjut jew partiċelli tal-manifattura residwi jistgħu jikkontaminaw il-banju tal-proċess.
Meta Heater Standard Ma Jista' Jwaħħal l-Għodda
Ħiter standard rari joqgħod għodda ta' semikondutturi ta' spazju-limitat. L-ispazju disponibbli huwa żgħir wisq, il-forma hija irregolari wisq, u r-rekwiżiti tal-purità huma stretti wisq. Konfigurazzjoni ta 'ħiter ta' immersjoni PTFE apposta b'qatta kompatta multi-pass, flanġ PTFE solidu, u egħluq terminali ssiġillat hija ddisinjata għall-għodda speċifika. Il-proċess tal-ispeċifikazzjoni jeħtieġ id-dimensjonijiet tal-ispazju disponibbli, il-ftuħ tal-flanġ, il-fond tal-immersjoni, il-kimika tal-banju, il-wattage meħtieġ u r-rekwiżiti tal-purità.
