I. Applikazzjonijiet Ewlenin
Ġestjoni Termali ta'-Kimiċi ta' Purità Għolja:
Applikazzjoni:Proċessi mxarrba bħat-tindif u l-inċiżjoni tal-wejfers jeħtieġu kimiċi ta’ purità ultra-għolja-, inkluż aċidu idrofluworiku, aċidu idrokloriku, aċidu sulfuriku, aċidu nitriku, ammonja, u perossidu tal-idroġenu, ħafna drabi f’taħlitiet bħal SPM, SC1, u SC2. Dawn il-kimiċi għandhom jintużaw f'temperatura kostanti, tipikament taħt il-punt tat-togħlija tagħhom (eż., 70-80 grad), biex tinżamm rata ta 'reazzjoni stabbli u ripetibbli.
Funzjoni:L-iskambjaturi tas-sħana tat-Teflon huma mgħaddsa fi jew installati f'sistemi ta 'kunsinna kimiċi biex isaħħnu jew ikessħu b'mod preċiż dawn il-likwidi korrużivi, u jiżguraw il-konsistenza u r-ripetibilità tal-proċess.
Proċess ta' Exhaust u Trattament ta' Gass Aċidu tal-Iskart (Applikazzjoni l-Aktar Komuni u Kritika):
Applikazzjoni:Il-manifattura tas-semikondutturi tiġġenera gassijiet tal-egżost korrużivi ħafna. Proċessi bħal inċiżjoni niexfa, diffużjoni, u CVD jipproduċu flussi ta 'skart li fihom fwar HF, HCl, Cl₂, NOx, u H₂SO₄. Qabel dan l-egżost sħun u korrużiv jista 'jiġi ttrattat fi scrubber, għandu jitkessaħ.
Funzjoni:L-iskambjaturi tas-sħana tat-Teflon jaġixxu bħala apparat li jkessaħ il-gass tal-egżost, u jnaqqsu t-temperaturi minn diversi mijiet ta 'gradi sa qrib l-ambjent. Dan iservi tliet skopijiet ewlenin:
Protezzjoni ta' Scrubbers:Tipprevjeni ħsara f'-temperatura għolja lill-iscrubbers tal-PP (polipropilene) u lill-materjali tal-ippakkjar.
Titjib tal-Effiċjenza tal-Scrubber:It-tnaqqis tat-temperatura tal-gass iżid is-solubilità tal-komponenti aċidużi fil-likwidu tal-għorik, u jsaħħaħ b'mod sinifikanti n-newtralizzazzjoni u l-effiċjenza tat-tneħħija.
Dehumidifikazzjoni u Tnaqqis tar-Rajn:It-tkessiħ jikkondensa u jneħħi l-umdità mill-fluss ta 'l-exhaust, inaqqas drastikament "duħħan abjad" jew plumes viżibbli mill-munzell, jgħin biex jintlaħqu l-istandards ta' konformità ambjentali u viżwali.
Sistemi Ultra-Ilma Pur (UPW):
Applikazzjoni:Ilma ultra-pur użat fil-fabbrika ta' spiss jeħtieġ li jissaħħan jew jitkessaħ għal proċessi speċifiċi jew rekwiżiti ta' ħażna.
Funzjoni:L-iskambjaturi tas-sħana tat-Teflon jintużaw biex isaħħnu jew ikessħu l-UPW, li jiggarantixxu li l-ilma jibqa 'assolutament ħieles mill-kontaminazzjoni tal-jone tal-metall u jżomm ir-reżistenza estremament għolja tiegħu (18.2 MΩ·cm).
II. Għaliex l-Iskambjaturi tas-Sħana tat-Teflon Huma Ideali għall-Industrija tas-Semikondutturi (Vantaġġi ewlenin)
Reżistenza għall-Korrużjoni Estrema:
PTFE (Polytetrafluoroethylene) huwa inerti kontra l-aċidi, bażijiet, ossidanti u solventi organiċi prattikament b'saħħithom kollha. Din hija r-raġuni primarja għall-għażla tagħha, peress li ssolvi l-problema tal-korrużjoni li l-iskambjaturi tas-sħana tal-metall (anki dawk magħmula minn Hastelloy) ma jistgħux jifilħu-terminu twil.
Purità Għolja tal-wiċċ u Non--Kontaminazzjoni:
Il-wiċċ tat-Teflon huwa eċċezzjonalment lixx, inerti, u li ma jwaħħalx-. Mhux se jnixxi joni tal-metall jew kontaminanti oħra fil-midja tal-proċess. Dan huwa assolutament kritiku għall-prevenzjoni tal-kontaminazzjoni tal-wejfer u ż-żamma tal-purità tal-kimiċi u l-UPW.
Proprjetajiet Eċċellenti Kontra l--Fouling:
Il-partikuli preżenti fil-gassijiet tal-materja prima jew il-flussi tal-egżost ma jaderixxux faċilment mat-tubi tat-Teflon. Dan jagħmel is-sistema aktar faċli biex titnaddaf u tinżamm, u jipprevjeni tnaqqis fl-effiċjenza tat-trasferiment tas-sħana minħabba l-fouling.
Reżistenza għal Xokk Termali u Firxa Wiesgħa ta' Temperatura:
L-iskambjaturi tas-sħana tat-Teflon joperaw b'mod affidabbli minn -200 grad sa +260 grad u jistgħu jifilħu varjazzjonijiet rapidi fit-temperatura, u jagħmluhom adattati ħafna għall-kundizzjonijiet varjabbli misjuba fis-sistemi tat-trattament tal-egżost.
Ħajja twila u Manutenzjoni Baxxa:
Għalkemm l-investiment inizjali jista' jkun ogħla minn dak għall-iskambjaturi tal-metall, in-natura virtwalment mhux-korruttiva tagħhom tirriżulta f'ħajja operattiva itwal b'mod sinifikanti f'ambjenti ħorox. Dan iwassal għal spiża totali ta' sjieda (TCO) aktar baxxa maż-żmien u jelimina l-waqfien tal-produzzjoni u r-riskji tas-sikurezza kkawżati minn tnixxijiet relatati mal-korrużjoni-.
III. Konfigurazzjoni tat-Tagħmir Tipiku
L-aktar forma komuni ta 'skambjatur tas-sħana tat-Teflon f'fab semikonduttur huwa l-skambjatur tas-sħana tal-qoxra u tat-tubu:
In-naħa tat-tubu:Il-gass tal-egżost korrużiv jew il-kimika tgħaddi minn mazz ta' bosta tubi tat-Teflon ta' dijametru żgħir-, li jipprovdu erja tal-wiċċ kbira għal trasferiment effiċjenti tas-sħana.
In-naħa tal-qoxra:Ilma li jkessaħ (tipikament ilma tal-belt jew ilma mkessaħ) jew mezz ta 'tisħin jiċċirkola madwar in-naħa ta' barra tal-gozz tat-tubi.
IV. Rilevanza għall-Għodod tal-Proċess tas-Semikondutturi Core
L-iskambjaturi tas-sħana tat-Teflon huma spiss integrati bħala komponent kritiku tal-sistemi ta' tnaqqis tal-egżost tal-punt--użu (POU).mehmuża ma 'għodod bħalFran LPCVD, etchers niexfa, fran tad-diffużjoni, u bankijiet imxarrbin.
Huma punti ewlenin ta' monitoraġġ fi ħdan il-faċilitàFMCS (Sistema ta' Monitoraġġ u Kontroll tal-Faċilità). L-istatus operattiv tagħhom (temperaturi tad-dħul/ħruġ, tnaqqis fil-pressjoni) huwa direttament marbut mal-iżgurar tal-konformità tal-egżost, is-sikurezza ambjentali, u s-sikurezza ġenerali tal-impjant.
