Riskji ta 'Difetti tal-Wejfer Minn Outgass Volatili Ta' Pjanċi tat-Tisħin Standard
Il-proċessi ta' kisi ta' wejfer tas-semikondutturi ta' quddiem-tarf jitolbu purità estrema tal-banju b'kontaminanti organiċi u inorganiċi volatili qrib-żero. Id-dejta tal-monitoraġġ tal-purità tal-kamra nadifa fit-tul-miġbura minn laboratorji tal-fabbrikazzjoni taċ-ċippa tirreġistra difetti persistenti tal-mikro-partikuli u residwi ta’ film organiku fuq uċuħ tal-wejfers meta jiġu skjerati pjanċi tat-tisħin tal-polimer miksija konvenzjonali jew ta’ grad-baxx. Il-biċċa l-kbira tat-timijiet tal-kwalità tal-kamra nadifa jinstallaw sistemi ta' filtrazzjoni onlajn f'diversi-stadji biex ineħħu sustanzi li jniġġsu sospiżi, iżda jinjoraw l-ħruġ tal-gass kontinwu bil-mod rilaxxat minn pjanċi tat-tisħin ta'-kwalità baxxa f'soluzzjonijiet ta'-wafer plating b'temperatura għolja. Il-pjanċi tat-tisħin miksija-komposti konvenzjonali fihom aġenti residwi ta' ikkurar, plastiċizzanti u frammenti ta' polimeru ta' piż-molekulari-baxx. Taħt immersjoni sostnuta f'-temperatura għolja, dawn is-sustanzi volatili jisseparaw mill-wiċċ tal-pjanċa, jinħall f'likwidu tal-kisi u jżomm f'wiċċ l-ilma bħala mikro-qtar fuq ċirkwiti tal-wejfer. Anki l-pannelli standard tal-polimeru mhux purifikati jirrilaxxaw traċċi ta 'impuritajiet gassużi, li jbiddlu l-potenzjal kimiku tal-kisi u jikkawżaw fallimenti ta' ċirkwit miftuħ/short fil-karatteristiċi tal-mikro-wejfer. Il-kontaminazzjoni tal-ħruġ tal-gass issir irriversibbli għal nodi avvanzati taħt is-7nm bi strutturi ta' ċirkwit ultra-fini.
Żewġ Indikaturi tad-Disinn tal-Materjal tal-Estraġjar Baxx-Qalb
Kompożizzjoni tal-materja prima 100% verġni ta' piż għoli-molekulari- u molding kompletament sinterizzat mingħajr saldatura jiddeterminaw b'mod konġunt il-livelli ta 'outgassing ta' pjanċi li jsaħħnu f'banjijiet tal-kamra nadifa tas-semikondutturi. Il-ħardwer tat-tisħin tal-polimeru miksi, riċiklat jew ta' grad-baxx ma jistax jelimina r-rilaxx volatili, filwaqt li pjanċi tat-tisħin PTFE iffurmati ultra-puri jissodisfaw l-ispeċifikazzjonijiet tal-ħruġ tal-gass baxx-semikondutturi. Materja prima polimerika riċiklata jew imħallta żżomm monomeri residwi u addittivi tal-ipproċessar li volatilizzaw f'temperaturi elevati tal-banju. Strutturi ta 'kisi magħqud f'saffi fihom solventi adeżivi li kontinwament lissi kontaminanti tal-gass fuq ċikli twal ta' produzzjoni. Il-pjanċi tat-tisħin PTFE verġni sinterizzati bis-sħiħ jadottaw reżina ta' purità għolja-ħieles mill-addittiv mingħajr fillers volatili, li jiffurmaw uċuħ ħielsa mill-pori kompatti-li jimblukkaw kompletament il-mogħdijiet ta' ħruġ ta' gass organiku.
Tabella ta' Benchmark ta' Pjanċi tat-Tisħin ta' Semikondutturi Baxx-Estraġiment tal-Gass
Id-dejta tat-test tal-immersjoni tal-kamra nadifa ta'-temperatura għolja tikkwantifika l-volum totali tal-ħruġ tal-gass u r-rati ta' rifjut tal-wejfer ta' erba' kostruzzjonijiet ta' pjanċi tas-sħana mainstream
Tabella 1: Ultra-Clean Low-Outgassing Benchmark għall-Pjanċi tat-Tisħin
| Tisħin Pjanċi Kostruzzjoni | Rata ta' Outgassing ta' Telf totali tal-Massa | Livell Organiku ta' Rilaxx Volatili | Akkumulazzjoni ta' Kontaminazzjoni tal-Karbonju tal-Banju ta' kull ġimgħa | Wafer Mikro-Rata ta' Rifjut ta' Difetti |
|---|---|---|---|---|
| Pannelli tal-bażi tal-metall miksija bl-epossi- | Telf għoli ta 'massa | Rilaxx sever tal-VOC | Akkumulazzjoni rapida tal-karbonju | 16%–23% |
| Pannelli tal-polimeru mħallta riċiklati | Telf moderat tal-massa | Medju traċċi volatili | Akkumulazzjoni bil-mod tal-karbonju | 8%–14% |
| Folji standard ta' PTFE mhux-sinterizzat | Telf baxx tal-massa | Gass-molekulari baxx minuri | Traċċi tal-karbonju negliġibbli | 3%–7% |
| Pannelli PTFE ultra-pur verġni sinterizzati għal kollox | Telf tal-massa li ma jinstabx | Żero VOC li jista' jitkejjel | L-ebda kontaminazzjoni tal-karbonju | Taħt 1.1% |
Gwida tal-Għażla tat-Tagħmir tal-Kamra Nodifa tas-Semikondutturi
Linji avvanzati ta' kisi tal-wejfer għal nodi ta' ċippa sub-7nm għandhom jużaw b'mod esklussiv pjanċi tat-tisħin verġni sinterizzati b'livell baxx-outgassing biex jeliminaw sorsi ta' kontaminazzjoni volatili. Fabbriki li għadhom jużaw pjanċi tat-tisħin tal-polimer miksijin jew riċiklati jeħtieġu filtrazzjoni addizzjonali ta 'assorbiment ta' karbonju attivat u sostituzzjoni parzjali ta 'kuljum tal-banju, li jżidu ħafna l-konsumabbli u l-overhead tax-xogħol. Fabbriki tal-produzzjoni tal-massa li jimmiraw għal rendiment għoli tal-wejfers jiksbu purità deċiżiva u vantaġġi ta 'spejjeż billi jadottaw pjanċi tat-tisħin inerti mingħajr addittivi-. Id-dejta tal-awditjar tar-rendiment tal-kamra nadifa turi linji ta' produzzjoni mgħammra bi pjanċi tat-tisħin mhux-baxx-li jħallu l-gass jonfqu 3.1–4.6 darbiet aktar fuq purifikazzjoni tal-banju u xogħol mill-ġdid tal-wejfers meta mqabbla ma' faċilitajiet li jużaw pjanċi tat-tisħin PTFE ultra-pur sinterizzat taħt throughput identiku ta' wejfer ta' kuljum.
Sommarju u Appoġġ tal-Pjanċi tat-Tisħin tad-Dwana tal-{0}}Outgassing Baxx
L-addittivi residwi, l-adeżivi u l-materja prima riċiklata fi pjanċi tat-tisħin ordinarji jiġġeneraw ħruġ ta' gass volatili kontinwu, li jintroduċu kontaminanti organiċi u mikro-difetti għal banjijiet ultra-nodfa tal-kisi tal-wejfer tas-semikondutturi. It-timijiet tal-kwalità u l-akkwist Fabb jistgħu jirreferu għat-tabella ta' referenza ta' gradazzjoni ta' gradazzjoni baxxa-li jissostitwixxu l-ħardwer termali eżistenti għal flussi tax-xogħol tal-manifattura taċ-ċippa ta'-purità għolja. Addittiv personalizzat -pjanċi tat-tisħin verġni PTFE kompletament sinterizzat b'xejn jistgħu jiġu manifatturati għal tankijiet avvanzati tal-kisi tal-wejfer tas-semikondutturi. Inġiniera ta 'materjal ta' proċess ultra-pur jista 'jwassal rapporti ta' test ta' ħruġ ta' gass b'temperatura għolja-sħaħ u rakkomandazzjonijiet dwar id-daqs tat-tagħmir wara li jissottomettu l-firxa tat-temperatura tal-banju tal-kisi, runtime kontinwu ta 'kuljum u standards ta' purità tan-nodi tal-proċess tas-semikondutturi fil-mira.
