Fabbrika ta 'semikondutturi kellha bżonn heater ta' immersjoni PTFE tad-dwana għal tank tal-proċess tal-bank imxarrab. Il-heater kien iddisinjat b'mod korrett għad-dazju termali, il-kimika, u r-restrizzjonijiet tal-ispazju. Ġie installat u operat b'suċċess għal tliet xhur. Imbagħad id-dipartiment tal-kwalità tal-fab talab dokumentazzjoni għal verifika tal-klijent. Il-fornitur tal-heater ma setax jipprovdi traċċabilità tal-materjal, ċertifikazzjoni tal-finitura tal-wiċċ, jew dejta estrattibbli. Il-heater tneħħa mis-servizz sakemm id-dokumentazzjoni setgħet tinkiseb.
Fabbs semikondutturi għandhom dokumentazzjoni u rekwiżiti ta 'ċertifikazzjoni li jmorru lil hinn mill-ispeċifikazzjonijiet elettriċi u termali tal-heater. Ir-rekwiżiti jkopru purità tal-materjal, finitura tal-wiċċ, estratti, u traċċabilità. Ħiter ta 'immersjoni PTFE tad-dwana għas-servizz tas-semikondutturi għandu jissodisfa dawn ir-rekwiżiti, u l-fornitur għandu jipprovdi d-dokumentazzjoni biex jipprovaha.
Traċċabilità u Purità tal-Materjal
Il-PTFE użat f'heater semikonduttur għandu jkun traċċabbli sal-lott tar-reżina. Il-fornitur għandu jipprovdi ċertifikat ta' analiżi (CoA) għall-polimeru, li juri n-numru tal-lott, il-manifattur, u l-proprjetajiet ewlenin-piż molekulari, kristallinità, u livelli ta' impurità.
Il-PTFE għandu jkun polimeru verġni u mhux mimli. PTFE mimli-li jkun fih ħġieġ, karbonju, jew addittivi oħra-mhux aċċettabbli minħabba li l-mili jistgħu joħorġu fil-banju tal-proċess. Il-polimeru għandu jissodisfa r-rekwiżiti tal-purità tal-proċess, tipikament b'jonji estratti taħt il-limiti speċifikati.
| Dokumentazzjoni | Dak li Jiċċertifika | Rekwiżit Tipiku |
|---|---|---|
| Reżina CoA | Traċċabilità tal-lott, proprjetajiet | Piż molekulari, livelli ta 'impurità |
| Ċertifikazzjoni tal-materjal | Verġni PTFE, l-ebda mili | 100% PTFE verġni |
| Rapport dwar l-estrattijiet | Kontaminazzjoni jonika | <50 ppb per ion |
| Rapport tal-finitura tal-wiċċ | Ra valur | <0.4 μm Ra |
| Spezzjoni dimensjonali | Konformità tat-tolleranza | Għal kull tpinġija |
It-traċċabilità tal-materjal u d-dokumentazzjoni tal-purità għal ħiters PTFE semikondutturi
Finish tal-wiċċ u Indafa
Il-proċessi semikondutturi jeħtieġu uċuħ lixxi u nodfa li ma jaqbdux partiċelli jew jirrilaxxaw kontaminanti. Il-kisja PTFE għandu jkollha finitura tal-wiċċ ta '0.4 μm Ra jew aħjar. Wiċċ mhux maħdum jista 'jżomm partiċelli u jippromwovi l-formazzjoni tal-bijofilm.
Il-heater għandu jitnaddaf u passivat qabel l-installazzjoni. Il-proċess tat-tindif ineħħi r-residwi tal-manifattura, iż-żjut u l-partiċelli. Il-proċess ta 'passivazzjoni jiżgura li l-wiċċ huwa kimikament inert u ma jirrilaxxax kontaminanti fil-banju tal-proċess.
Rapport tal-finitura tal-wiċċ u ċertifikazzjoni tat-tindif jiddokumentaw l-indafa tal-heater. Ir-rapport għandu jinkludi l-metodu tal-kejl, il-postijiet tat-teħid tal-kampjuni, u r-riżultati.
Ittestjar ta' Oġġetti estratti u Leachables
L-ittestjar tal-oġġetti estratti jkejjel ir-rilaxx ta 'jonji, organiċi, u partiċelli mill-heater fil-fluwidu tal-proċess. It-test jinvolvi l-immersjoni tal-heater f'ilma ultrapur jew fluwidu tal-proċess rappreżentattiv f'temperatura operattiva għal perjodu definit, imbagħad janalizza l-fluwidu għal kontaminanti.
Il-limiti estratti jiddependu fuq il-proċess. Għal proċessi ta' semikondutturi kritiċi, il-limiti jistgħu jkunu fil-medda ta' partijiet baxxi-kull-biljun għal metalli u organiċi. Ir-rapport tat-test jiddokumenta r-riżultati u jiċċertifika li l-heater jissodisfa r-rekwiżiti tal-proċess.
| Test | Dak li Jkejjel | Limitu Tipiku | Metodu |
|---|---|---|---|
| Estratti tal-metall | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| Estratti organiċi | TOC, organiċi speċifiċi | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| Rilaxx ta' partiċelli | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Kontra l-partiċelli likwidi |
| Anjoni estratti | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | Kromatografija tal-joni |
Rekwiżiti ta 'ttestjar ta' oġġetti estratti għal ħiters PTFE semikondutturi
Ċertifikazzjonijiet Elettriku u Sigurtà
Il-heater għandu jissodisfa r-rekwiżiti tas-sigurtà elettrika tal-fab. Fl-Amerika ta 'Fuq, dan tipikament ifisser lista UL jew ETL. Fl-Ewropa, tfisser marka CE b'konformità mad-direttivi applikabbli.
L-egħluq tat-terminal għandu jilħaq il-klassifikazzjoni xierqa tal-protezzjoni tad-dħul-tipikament IP66 jew NEMA 4X. Il-heater għandu jkun kompatibbli mas-sistema tal-protezzjoni tal-ħsara fl-art tal-fab.
| Ċertifikazzjoni | Reġjun | Dak li Tkopri | Rekwiżit Tipiku |
|---|---|---|---|
| UL 499 | l-Amerika ta' Fuq | Sigurtà elettrika | Elenkat jew rikonoxxut |
| CE | Ewropa | Sigurtà, EMC | Immarkar u dikjarazzjoni |
| IP66 | Internazzjonali | Protezzjoni tad-dħul | Egħluq terminali |
| ATEX | Ewropa | Prova ta'-splużjoni | Jekk atmosfera fjammabbli |
| SEMI S2 | Semikondutturi | Linji gwida tas-sigurtà | Rekwiżit Fab |
Ċertifikazzjonijiet elettriċi u ta 'sigurtà għal ħiters PTFE semikondutturi
Pakkett ta' Traċċabilità u Dokumentazzjoni
Il-pakkett ta 'dokumentazzjoni għal heater semikonduttur jinkludi ċ-ċertifikazzjonijiet tal-materjal, ir-rapport tal-finitura tal-wiċċ, ir-rapport tat-test tal-estrattibbli, iċ-ċertifikazzjonijiet elettriċi, u r-rapport ta' spezzjoni dimensjonali. Il-pakkett għandu jkun traċċabbli għan-numru tas-serje speċifiku tal-heater.
Il-pakkett jiġi rivedut mid-dipartiment tal-kwalità tal-fab qabel ma jiġi aċċettat il-heater. Dokumentazzjoni mhux kompluta tista' tittardja l-installazzjoni jew tirriżulta f'rifjut.
Meta l-Heaters Standard Ma Jistgħux jissodisfaw ir-Rekwiżiti tad-Dokumentazzjoni
Ħiters ta 'immersjoni PTFE standard mhumiex fornuti mal-pakkett ta' dokumentazzjoni meħtieġ għas-servizz tas-semikondutturi. Ħiter ta 'immersjoni PTFE personalizzat iddisinjat għal servizz ta' semikondutturi jinkludi d-dokumentazzjoni, l-ittestjar, u t-traċċabilità meħtieġa. Il-proċess ta 'speċifikazzjoni jeħtieġ il-kimika tal-proċess, ir-rekwiżiti tal-purità, l-ispeċifikazzjoni tal-finitura tal-wiċċ, il-limiti li jistgħu jiġu estratti, u ċ-ċertifikazzjonijiet elettriċi.
