Faċilità ta 'fabbrikazzjoni ta' semikondutturi meħtieġa biex tissostitwixxi heater ta 'immersjoni PTFE fallut f'kamra kompatta tal-bank imxarrab. L-ispazju disponibbli kien slot wiesa '150 mm tul il-ħajt tat-tank, 400 mm fond, b'ftuħ ta' ħanek ta '100 mm. Il-wattage meħtieġ kien 2.5 kW. Il-ħiters tal-katalgu standard kienu jew wesgħin wisq, twal wisq, jew għoljin wisq fid-densità tal-watt għall-ispazju. Il-faċilità kellha bżonn heater tad-dwana li jaqbel mal-islott u operat b'densità ta 'watt sigur.
L-ispeċifikazzjoni ta 'heater ta' immersjoni PTFE għal kamra kompatta tal-bank imxarrab teħtieġ approċċ differenti milli tispeċifika għal tank tal-kisi kbir. Ir-restrizzjonijiet tal-ispazju huma aktar stretti, il-kimika ħafna drabi hija aktar aggressiva, u r-rekwiżiti tal-uniformità tat-temperatura huma aktar impenjattivi. L-ispeċifikazzjoni għandha tibbilanċja d-densità tal-watt, l-erja tal-wiċċ, u l-adegwatezza fiżika f'pakkett żgħir ħafna.
L-Analiżi tar-Restrizzjoni tal-Ispazju
L-ewwel pass huwa li tfassal b'mod preċiż l-ispazju disponibbli. F'kamra tal-bank imxarrab, l-ispazju tal-heater spiss ikun definit mill-ħajt tat-tank fuq naħa waħda, il-mogħdija tat-trasportatur tal-wejfer fuq oħra, u l-qiegħ tat-tank hawn taħt. Il-volum disponibbli jista 'jkun forma irregolari li heater standard ma jistax jimla.
Id-dimensjonijiet ewlenin huma l-wisa 'massimu, il-fond massimu, l-għoli massimu, u l-ispazju għall-partijiet li jiċċaqalqu. Il-ftuħ tal-flanġ jiddefinixxi d-dijametru massimu tal-heater li jista 'jiddaħħal. Il-fond tal-immersjoni jiddefinixxi t-tul imsaħħan li jista 'jintuża.
| Dimensjoni | Limitazzjoni Tipika | Impatt fuq id-Disinn tal-Heater |
|---|---|---|
| Wisa 'disponibbli | 100–200 mm | Illimita l-wisa' tal-heater |
| Fond disponibbli | 300–500 mm | Limita t-tul imsaħħan |
| Ftuħ tal-flanġ | 80–150 mm | Limita l-inserzjoni tal-heater |
| Fond tal-immersjoni | 200–400 mm | Limita t-tul imsaħħan |
| Clearance lit-trasportatur | 50–100 mm | Limita l-isporġenza |
Limitazzjonijiet ta 'spazju f'kmamar kompatti tal-bank imxarrab
Kalkolu tad-Densità tal-Watt u tal-Erja tal-Watt
Dazju ta' 2.5 kW b'densità ta' watt sikur ta' 1.0 W/cm² jeħtieġ 2,500 ċm² ta' erja tal-wiċċ tal-għant. F'kamra ta' spazju-limitat, il-kisba ta' dik l-erja tal-wiċċ teħtieġ konfigurazzjoni kompatta f'forma ta' L-jew forma ta' U-.
Ħiter f'forma ta' L-b'sezzjoni vertikali ta' 250 mm u sezzjoni orizzontali ta' 350 mm jipprovdi 600 mm ta' tul imsaħħan. F'dijametru ta' għant ta' 50 mm, li jipprovdi madwar 942 cm² ta' erja tal-wiċċ-inqas minn nofs ir-rekwiżit. Konfigurazzjoni multi-pass b'pass addizzjonali hija meħtieġa.
| Konfigurazzjoni tal-Heater | Tul imsaħħan | Erja tal-wiċċ fi 32 mm | Erja tal-wiċċ f'50 mm | Waħħal f'Slot ta '150 mm |
|---|---|---|---|---|
| Dritt, 250 mm | 250 mm | 250 ċm² | 393 ċm² | Iva, iżda żona insuffiċjenti |
| L-forma, 250 + 350 mm | 600 mm | 600 ċm² | 942 ċm² | Iva |
| U-forma, 250 + 200 + 250 mm | 700 mm | 700 ċm² | 1,100 ċm² | Iva |
| Multi-pass, 4 × 250 mm | 1,000 mm | 1,000 ċm² | 1,571 ċm² | Iva |
| Multi-pass, 7 × 250 mm | 1,750 mm | 1,750 ċm² | 2,749 ċm² | Tajba stretta |
Konfigurazzjonijiet tal-heater għal xogħol ta' 2.5 kW f'1.0 W/cm² f'kamra kompatta
It-twaħħil tal-Heater fis-Slot
Il-heater għandu jidħol mill-ftuħ tal-flanġ u fl-islott disponibbli. Ħiter b'wisa' ta' 350 mm mhux se jidħol minn fetħa tal-flanġ ta' 100 mm. Is-soluzzjoni hija li torjenta l-heater vertikalment sabiex il-wisa 'tagħha tkun allinjata mal-fond tal-islott u l-ħxuna tagħha tkun allinjata mal-ftuħ tal-flanġ.
Ħiter b'ħafna-passaġġ b'tul imsaħħan ta' 250 mm, wisa' ta' 350 mm, u dijametru tal-qatta ta' 50 mm jista' jiddaħħal minn ftuħ ta' flanġ ta' 100 mm jekk id-dijametru tal-qatta ta' 50 mm ikun allinjat mal-ftuħ. Ladarba ġewwa t-tank, il-heater jiddawwar f'pożizzjoni.
Uniformità tal-fluss u tat-temperatura fi Spazji stretti
F'kamra kompatta, il-fluss madwar il-heater ħafna drabi huwa ristrett mill-ħajt tat-tank fil-qrib u t-trasportatur tal-wejfer. Il-fluss jista 'jkun irregolari, b'veloċità għolja fuq naħa waħda u veloċità baxxa fuq l-oħra. Dan jista' joħloq hot spots fuq in-naħa ta'-veloċità baxxa.
Baffle imtaqqab jew gwida tal-fluss jistgħu jqassmu l-fluss b'mod aktar uniformi madwar il-heater. Il-baffle għandu jkun iddisinjat biex jidħol fl-ispazju disponibbli u biex jidderieġi l-fluss mill-lakuni bejn il-passaġġi.
Materjal u Kostruzzjoni għal Servizz Semikondutturi
Għodod semikondutturi ħafna drabi jeħtieġu materjali ta'-purità għolja. L-għant PTFE għandu jkun polimeru verġni, mhux mimli b'estratti baxxi. Il-ħanek għandu jkun PTFE solidu jew PTFE-istainless steel miksi. L-egħluq tat-terminal għandu jkun issiġillat u ventilat biex jipprevjeni l-kontaminazzjoni.
Il-heater għandu jitnaddaf u passivated qabel l-installazzjoni. Kwalunkwe żjut jew partiċelli tal-manifattura residwi jistgħu jikkontaminaw il-banju tal-proċess.
Meta Heater Standard Ma Jitwaħħalx fil-Kamra
Ħiter standard rarament joqgħod f'kamra kompatta tal-bank imxarrab. L-ispazju disponibbli huwa żgħir wisq, il-forma hija irregolari wisq, u r-rekwiżiti tal-purità huma stretti wisq. Konfigurazzjoni ta' heater ta' immersjoni PTFE apposta b'disinn b'ħafna-pass, footprint kompatt, u egħluq terminali ssiġillat tindirizza l-kawża ewlenija tar-restrizzjoni tal-ispazju. Il-proċess tal-ispeċifikazzjoni jeħtieġ id-dimensjonijiet tal-ispazju disponibbli, il-ftuħ tal-flanġ, il-fond tal-immersjoni, il-kimika tal-banju, il-wattage meħtieġ u r-rekwiżiti tal-purità. Għal faċilitajiet bi kmamar kompatti, dan l-approċċ speċifiku għall-applikazzjoni-jipprovdi l-erja tal-wiċċ meħtieġa fl-ispazju disponibbli.
