Fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, anke partijiet-kull-triljun livelli ta' kontaminazzjoni metallika jistgħu jħassru r-rendimenti tal-apparat. It-tlaħliħ ta 'l-ilma dejonizzat sħun jintuża b'mod estensiv, u kwalunkwe heater f'kuntatt ma' dan l-ilma għandu jkun assolutament ħieles minn metalli li jistgħu jinħarġu. Ħiters PTFE jissodisfaw dan ir-rekwiżit strett.
Ilma DI sħun fil-Manifattura tas-Semikondutturi
Ilma sħun dejonizzat (DI) jintuża f'fabs semikondutturi għal varjetà ta 'proċessi ta' tindif kritiċi, bħal tindif tal-wejfers, reżistenza għat-tqaxxir, u tlaħliħ ġenerali. L-ilma jiġi rċirkolat kontinwament permezz tas-sistema u jinżamm f'reżistività għolja ta' 18-il megaohm-ċentimetru (MΩ·cm) f'25 grad. Dan jiżgura li l-ilma jibqa 'ultrapur, li huwa essenzjali biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni matul il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.
It-temperatura tal-ilma DI tipikament tinżamm fil-medda ta '70-90 grad biex tneħħi b'mod effettiv il-kontaminanti u ttejjeb l-effiċjenza tal-proċess tat-tindif. Din il-firxa tat-temperatura hija essenzjali għall-aħjar ipproċessar tal-wejfer u tinkiseb bl-użu ta 'ħiters speċjalizzati.
Ir-Riskju ta' Kontaminazzjoni ta' Ħiters miksija tal-metall-
Filwaqt li l-ħiters miksija-metall, bħal dawk magħmula mill-istainless steel jew mill-Incoloy, huma komunement użati f'ħafna applikazzjonijiet ta' tisħin industrijali, huma jippreżentaw riskju sinifikanti f'applikazzjonijiet ta'-purità għolja bħall-manifattura tas-semikondutturi. Maż-żmien, il-ħiters tal-metall iħallu traċċi ta 'jonji, bħal ħadid, nikil, u kromju, fl-ilma DI. Dawn il-joni tal-metall jistgħu jiddegradaw il-purità tal-ilma, li jwasslu għal kontaminazzjoni anke fl-iżgħar konċentrazzjonijiet. Din il-kontaminazzjoni tista 'tħalli impatt sever fuq il-kwalità tal-wejfer, tnaqqas ir-rendimenti tal-apparat u teħtieġ sostituzzjonijiet aktar frekwenti tas-sodda tar-reżina biex tirrestawra l-purità tal-ilma.
Biex jiġu evitati dawn il-kwistjonijiet, ħiters f'kuntatt ma 'ilma DI ultrapur għandhom jinbnew minn materjali li ma jintroduċu ebda impuritajiet fl-ilma.
Għaliex il-Heaters PTFE Huma Speċifikati
Il-ħiters tal-PTFE (polytetrafluoroethylene) huma speċifikati għal tankijiet tat-tlaħliħ tal-ilma sħun DI f'fabs semikondutturi minħabba r-reżistenza u l-inertezza kimika eċċezzjonali tagħhom. PTFE ma fih l-ebda metalli, li jfisser li mhux se jnixxi l-ebda joni metalliku fl-ilma, u b'hekk jiżgura li l-ilma jibqa 'ultrapur. Dan huwa kruċjali biex tinżamm ir-reżistenza għolja tal-ilma meħtieġa għall-manifattura tas-semikondutturi.
Il-ħiters tal-PTFE huma kapaċi jifilħu l-firxa tat-temperatura operattiva ta '70-90 grad, li jagħmluhom adattati tajjeb għal din l-applikazzjoni. F'xi każijiet, PFA (perfluoroalkoxy) jintuża minflok PTFE meta tkun meħtieġa saħansitra purità ogħla jew tolleranza tat-temperatura, peress li PFA jista 'jiflaħ temperaturi ogħla mingħajr ma jikkomprometti l-integrità tal-materjal.
Vantaġġ ewlieni tal-użu tal-PTFE fit-tankijiet tat-tlaħliħ bl-ilma DI huwa l-istabbiltà fit-tul{0}}tagħha. B'differenza mill-ħiters tal-metall, PTFE ma jeħtieġx manutenzjoni jew sostituzzjoni frekwenti minħabba kwistjonijiet ta 'kontaminazzjoni. Dan iwassal għal prestazzjoni aktar konsistenti u affidabbli f'ambjenti ta'-purità għolja, li tnaqqas l-ispejjeż operattivi maż-żmien.
Konsiderazzjonijiet Tekniċi għal Heaters PTFE
Fil-manifattura tas-semikondutturi, ir-reżistività tal-ilma DI għandha tinżamm f'18 MΩ·cm f'25 grad biex tiżgura li hija tassew ultrapura. Il-ħiters PTFE huma l-uniċi materjali tal-għata tal-heater aċċettati għal kuntatt dirett ma 'ilma ultrapur f'dawn l-applikazzjonijiet kritiċi. Biex tiġi evitata kwalunkwe togħlija lokalizzata jew ġenerazzjoni ta 'partiċelli, id-densità tal-watt tal-heater għandha tinżamm konservattiva. Dan jgħin biex jipprevjeni hot spots li jistgħu jwasslu għal kontaminazzjoni mhux mixtieqa jew ħsara fiżika lis-sistema tal-ilma.
Speċifikazzjoni tal-purità: Limiti ta 'Kontaminazzjoni tal-metall
F'applikazzjonijiet tas-semikondutturi ta'-purità għolja, il-limiti għall-kontaminazzjoni tal-metall huma estremament baxxi. Pereżempju, il-livelli ta 'kontaminazzjoni għandhom jibqgħu taħt 1 ppb (partijiet għal kull biljun) ta' ħadid, nikil, jew joni oħra tal-metall fl-ilma DI. Ħiters PTFE, bil-kompożizzjoni mhux-metallika tagħhom, huma ideali biex jissodisfaw dawn l-ispeċifikazzjonijiet stretti ta 'purità.
Konklużjoni
Il-ħiters tal-PTFE huma essenzjali għaż-żamma tal-kwalità tal-ilma ultrapur fil-manifattura tas-semikondutturi, u jiżguraw li l-ebda joni tal-metall ma jiġi leached fl-ilma matul il-proċess tat-tindif. L-għażla ta 'materjali għal applikazzjonijiet ta' purità għolja-, bħal fabs semikondutturi, hija mmexxija mill-ħtieġa għal kontroll preċiż tal-kontaminazzjoni. Il-ħiters PTFE huma ddisinjati speċifikament biex jissodisfaw dawn it-talbiet rigorużi, li jipprovdu soluzzjoni affidabbli għat-tisħin tal-ilma DI mingħajr ma tkun kompromessa l-kwalità tal-ilma jew ir-rendiment tal-apparat.
